2017年国家级创新训练项目:具有较低表面电阻SnO2-xFx膜的制备及研究

2020-08-05 19:13:25
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项目名称:具有较低表面电阻SnO2-xFx膜的制备及研究

项目类型:国家级创新训练项目

项目负责人:张衡

项目成员:魏业强,林晓燕,毕子墨,张晨,杨嘉业

指导教师:许珂敬

项目简介:在产能过剩、需求萎靡以及世界各地先后出台新环保法等的压力下,研究并开发低成本、环保型以及制备工艺简单的FTO薄膜成为企业市场竞争的制胜法宝。本项目采用改进的溶胶-凝胶法,以研究具有较低表面电阻的SnO2-xFx膜为宗旨,开展了镀膜时间、镀膜次数以及镀膜工艺参数与薄膜性能之间的模型关系进行了研究,通过自制的蒸镀模型,制备高性能的SnO2-xFx薄膜,以指导工业化生产,促进相应器件的性能提高与广泛应用。